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模温机应用案例

半导体制造蒸发器加热280KW电加热导热油炉「欧能机械」

返回列表 来源: 欧能机械 发布日期: 2025.05.08/14:50

合作项目半导体制造蒸发器加热

合作产品:280KW电加热导热油炉

合作时间2025年3月

案例介绍

半导体制造过程中产生的废水含有多种复杂成分,需通过蒸发浓缩处理。半导体企业采用电加热导热油炉为蒸发器提供热源,处理高浓度废水。

半导体制造蒸发器加热280KW电加热导热油炉

蒸发器需将废水加热至120℃实现水分蒸发,剩余浓缩废液便于后续处置。由于半导体生产连续性要求高,任何温度波动都可能影响废水处理效率,甚至导致产线停滞,因此对热源稳定性要求苛刻。

半导体制造蒸发器加热280KW电加热导热油炉

控温对象为蒸发器夹套内的导热油,要求油温稳定在120℃,系统需实时监控温度、压力及流量参数,同时需支持远程监控和异常报警功能。

解决方案采用两台280KW电加热导热油炉,一用一备,通过PLC集成控制,实时调节加热功率,确保油温波动在允许范围内。系统配备多级安全保护,包括超温自动断电、压力异常报警等。

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